姑苏多谱芯光请求光学玻璃晶圆微波加热专利完成对光学玻璃晶圆的均匀加热
时间: 2024-12-28 11:08:17 | 作者: 天天游戏免费玩
- 方案介绍
金融界2024年12月23日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏多谱芯光科技有限公司请求一项名为“一种光学玻璃晶圆微波加热设备及加热办法”的专利,公开号 CN 119155837 A,请求日期为2024年11月。
专利摘要显现,本发明触及一种光学玻璃晶圆微波加热设备及加热办法,其间光学玻璃晶圆微波加热设备包含:微波发生器,用于输出微波能量;涣散腔,和微波发生器衔接;多个波导管,和涣散腔衔接,传输微波发生器的微波能量;晶圆载体,包含模具以及设于模具下方的加热盘;模具用于承载光学玻璃晶圆;其间,波导管设于光学晶圆载体的顶面和/或旁边面。本发明可以运用多个波导管输出方法对光学玻璃晶圆加热,经过涣散腔将微波发生器的能量涣散到多个波导管的输进口,再由波导管将能量传递到外部,并均匀辐射到光学玻璃晶圆上方,完成对光学玻璃晶圆的均匀加热。
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